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晶棒切斜
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正常状况下在切开进程中,导轮槽内高速滚动的钢线会坚持互相平行且钢线距离一样,若钢线受力的效果发生位错,摇摆异常,钢线距离不均匀,则该方位的晶棒会呈现切斜。切斜致使发生很多厚度误差片、锯痕不合格片或TTV超差片,硅片自身厚度有必定的标准起浮规模,一般来说关于厚度为180μm的硅片,其误差规模为±20μm,超过此规模则变成薄厚片,薄厚片的发生会影响硅片的合格率及电池片的生产工艺。

 切斜因素剖析

 砂浆

砂浆是由碳化硅和切开液依照必定份额制造而成的,具有必定的粘度和密度值,因而碳化硅和切开液的质量直接决议砂浆的质量和切开才能。

1、切开液。衡量切开液功能的首要参数包含:(1)密度。切开液的密度越大,其与碳化硅的混合功能就越强,所以在挑选切开液时,首要挑选液体密度高于1.0g/cm3的液体。(2)蒸发性。在线锯切开进程中,切开刹那间散发出的热量较大,假如切开液的沸点较低(或蒸发度较高),则切开进程损耗较大,难以确保切开出的产品质量。(3)粘度。切开液的粘度是确保切开液具有杰出悬浮性和冷却性的主要功能。因为碳化硅颗粒需包裹在钢线外表,且切开进程中碳化硅与硅块冲突进程中会发生很多热量,切开液的活动会带走热量起到冷却效果。假如切开液粘度小则不能确保碳化硅颗粒均匀悬浮散布,粘度大则会致使砂浆活动性差,不能有用下降而形成灼伤片或许呈现断线。(4)外表张力。尽人皆知,液体的外表张力越低,在固体外表的铺展性越好。这一功能决议了砂浆在钢线外表的附着量。(5)酸碱性。切开砂浆的酸碱性,不只直接影响硅片的最终洗刷进程,还影响硅片外表的微观加工质量及设备的使用寿命,故切开液的酸碱性不易过强。

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点击次数: 更新时间:2016-12-16 14:33:55 【打印此页】 【关闭
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